[实用新型]一种应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线有效
| 申请号： | 201820138785.2 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN208038545U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈金成;刘俊;卿新卫 | 申请（专利权）人： | 珠海市斗门区鸿茂玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种设计合理、可防止玻璃制品变形和真空环境稳定的应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线。本实用新型包括输送装置，输送装置上设置有真空腔室，真空腔室内设置有四个隔离通道，隔离通道上均设置有玻璃输送通道，四个隔离通道将真空腔室依次分割成第一低真空室、第一高真空室、镀膜室、第二高真空室和第二低真空室，镀膜室内设置有磁控溅射靶，输送装置上的输送辊为陶瓷输送辊，第一低真空室和第二低真空室的两端分别设置有第一抽真空器和第一抽风器，第一高真空室和第二高真空室及镀膜室的两端分别设置有第二抽真空器和第二抽风器，第二抽真空器的下端设置有加热装置。本实用新型应用于磁控镀膜的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 低真空室 高真空室 本实用新型 玻璃制品 抽真空器 磁控镀膜 隔离通道 输送装置 真空腔室 抽风器 镀膜室 应用 室内 玻璃输送通道 磁控溅射靶 加热装置 陶瓷输送 真空环境 输送辊 真空腔 镀膜 下端 变形 分割 | ||
【主权项】：
1.一种应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线，包括输送装置（1），所述输送装置（1）上设置有真空腔室（2），其特征在于：所述真空腔室（2）内设置有四个隔离通道（3），所述隔离通道（3）上均设置有玻璃输送通道，四个所述隔离通道（3）将所述真空腔室（2）依次分割成第一低真空室（4）、第一高真空室（5）、镀膜室（6）、第二高真空室（7）和第二低真空室（8），所述镀膜室（6）内设置有磁控溅射靶，所述输送装置（1）上的输送辊为陶瓷输送辊（9），所述第一低真空室（4）和所述第二低真空室（8）的两端分别设置有第一抽真空器（10）和第一抽风器（11），所述第一高真空室（5）和所述第二高真空室（7）及所述镀膜室（6）的两端分别设置有第二抽真空器（12）和第二抽风器（13），所述第二抽真空器（12）的下端设置有加热装置。
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