[实用新型]电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备有效
| 申请号： | 201820126476.3 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN207893423U | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘跃 | 申请（专利权）人： | 深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。本实用新型通过各种阀门有机地、巧妙地组合，外加上PLC控制及触摸屏这一人机交互媒介，使其自动化程度大大提高，同时也方便使用者操作。柜体是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送系统。柜体中装载有单个或两个工艺钢瓶、工艺输出管线以及一条吹扫管路。此外，柜体装载并且输送高纯度有毒或易燃易爆气体，可以与更大型系统的使用点进行连接。 | ||
| 搜索关键词： | 柜体 输送控制设备 本实用新型 抽真空模块 分气装置 供气模块 电子气 吹扫 气瓶 气体输送系统 微电子半导体 易燃易爆气体 使用者操作 吹扫管路 大型系统 工艺钢瓶 工艺输出 人机交互 用气设备 触摸屏 高纯度 使用点 阀门 装载 自动化 媒介 体内 安全 外部 科研 生产 | ||
【主权项】：
1.一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。
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