[实用新型]一种双室真空炉的上下腔压力平衡系统有效
| 申请号： | 201820095756.2 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207831905U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/18;F27B5/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双室真空炉的上下腔压力平衡系统，与双室真空炉相对应，双室真空炉上设置上腔和下腔，其特征在于：包括安装在上腔内的真空室且真空室连接下腔；所述上腔和下腔分别连通有抽真空管路；所述两个抽真空管路的外侧端部连通有真空机组；所述抽真空管路上设置有压力传感器。本实用新型设计合理，将上下腔同时抽真空，真空度达到低真空时，关闭上腔与真空机组连接的腔阀，下腔继续抽真空到工艺真空度，此时上腔也为负压环境，使得反应室内外压力的压差很小，大大减小了真空室的漏气率，保证材料在高温烧结时工艺腔内的温度，同时，因为真空室内外压差变小，在高温状态下变形量更小，使用寿命更长，实用性强，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 上腔 双室真空炉 下腔 真空室 压力平衡系统 本实用新型 抽真空管路 真空机组 抽真空 室内外 压差 连通 抽真空管 负压环境 高温烧结 高温状态 使用寿命 外侧端部 变形量 低真空 工艺腔 漏气率 有压力 传感器 变小 减小 保证 | ||
【主权项】：
1.一种双室真空炉的上下腔压力平衡系统，与双室真空炉相对应，双室真空炉上设置上腔和下腔，其特征在于：包括安装在上腔内的真空室且真空室连接下腔；所述上腔和下腔分别连通有抽真空管路；所述两个抽真空管路的外侧端部连通有真空机组；所述抽真空管路上设置有压力传感器。
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