[实用新型]一种新型真空热处理炉负压压力控制系统有效
| 申请号： | 201820095755.8 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207831908U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/18 | 分类号： | F27B5/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型真空热处理炉负压压力控制系统，包括自动压力调节阀、气源供气系统、反应腔、真空机组。所述自动压力调节阀一端通过真空管路连接反应腔，另一端连接真空机组进气口；所述反应腔连通有进气管路，进气管路连接气源供气系统；所述气源供气系统设置有进气阀、质量流量计、过滤器。本实用新型设计合理，通过增加负压压力控制系统，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在扩散薄膜工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高磁性材料、半导体材料制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 负压 气源供气系统 压力控制系统 自动压力调节阀 本实用新型 工艺气体 进气管路 热处理炉 新型真空 真空机组 内压力 进气口 半导体材料 过滤器 制品合格率 质量流量计 磁性材料 工艺过程 恒压控制 扩散薄膜 连接反应 一端连接 真空管路 进气阀 减小 连通 | ||
【主权项】：
1.一种新型真空热处理炉负压压力控制系统，与真空热处理炉相对应，负压压力控制系统包括自动压力调节阀、气源供气系统、反应腔、真空机组，其特征在于：所述自动压力调节阀一端通过真空管路连接反应腔，另一端连接真空机组进气口；所述反应腔连通有进气管路，进气管路连接气源供气系统；所述气源供气系统设置有进气阀、质量流量计、过滤器。
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