[实用新型]一种晶体平面精密研磨抛光机

摘要

本实用新型公开了一种晶体平面精密研磨抛光机，所述的底座安装在机架的底面上，电机安装在机架内，转轴通过轴承安装在机架内，抛光盘安装在转轴的顶面上，精密丝杠底部安装在底座上的安装孔里，精密丝杠的顶端安装在横梁上的安装孔里，手柄安装在精密丝杠的顶端，丝杠螺母安装在精密丝杠上，吊环安装在升降台的顶面上，工件安装在载套的底面上，砝码安装在载套内，升降台左端通过直线轴承安装在立柱上。本实用新型通过工件固定调节装置中各零部件的有机配合，既可以控制晶片的研磨厚度，又可以保证晶片平行度，防止样品磨偏，还代替了人手持工件的操作，降低了工人的劳动强度又调高了加工效率与工件的研磨质量。

主权项

1.一种晶体平面精密研磨抛光机，其特征在于：包括底座(1)、精密丝杠(2)、电机(3)、配重块(4)、钢丝绳(5)、机架(6)、抛光盘(7)、工件(8)、载套(9)、丝杠螺母(10)、升降台(11)、载套座(12)、砝码(13)、手柄(14)、滑轮机构(15)、横梁(16)、立柱(17)、直线轴承(18)、集尘管(19)、转轴(20)、从动带轮(21)、V形带(22)、吊环(23)、滚针轴承(24)和主动带轮(25)，所述的底座(1)固定安装在机架(6)的底面上，所述的电机(3)固定安装在机架(6)内，所述的主动带轮(25)固定安装在电机(3)输出轴上，所述的从动带轮(21)固定安装在转轴(20)上，所述的转轴(20)通过轴承安装在机架(6)内，所述的V形带(22)安装在从动带轮(21)和主动带轮(25)上，所述的抛光盘(7)固定安装在转轴(20)的顶面上，所述的集尘管(19)安装在机架(6)上的安装孔里，所述的精密丝杠(2)底部固定安装在底座(1)上的安装孔里，所述的精密丝杠(2)的顶端安装在横梁(16)上的安装孔里，所述的手柄(14)固定安装在精密丝杠(2)的顶端，所述的丝杠螺母(10)安装在精密丝杠(2)上且丝杠螺母(10)固定安装在升降台(11)上的安装孔里，所述的配重块(4)通过钢丝绳(5)安装在滑轮机构(15)上，所述的滑轮机构(15)安装在横梁(16)上，所述的吊环(23)安装在升降台(11)的顶面上且吊环(23)安装在滑轮机构(15)上，所述的工件(8)安装在载套(9)的底面上，所述的载套(9)通过滚针轴承(24)安装在载套座(12)上，所述的载套座(12)安装在升降台(11)上的安装孔里，所述的砝码(13)安装在载套(9)内，所述的立柱(17)底部安装在底座(1)上的安装孔里，所述的立柱(17)顶端安装在横梁(16)上的安装孔里，所述的升降台(11)左端通过直线轴承(18)安装在立柱(17)上。