[实用新型]柱面镜测量设备有效
申请号: | 201820038230.0 | 申请日: | 2018-01-10 |
公开(公告)号: | CN207816182U | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 陈靖宇;武雁雄 | 申请(专利权)人: | 吉林省恒华光电有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/08;G01B9/02 |
代理公司: | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱;唐盼 |
地址: | 130000 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种柱面镜测量设备,包括:气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器;其中,在所述辅助支架上安装有柱面镜头。该柱面镜测量设备通过在现有激光干涉仪的前方设辅助支架,通过调整辅助支架来快速更快柱面镜镜头,使测量球面镜的激光干涉仪也可进行柱面镜测量。 | ||
搜索关键词: | 柱面镜 辅助支架 激光干涉仪 测量设备 减震平台 气压式 滑轨 支架 测量 光栅尺 滑动座 球面镜 导轨 激光干涉仪测量 垂直设置 滑轨滑动 激光干涉 柱面镜头 数显器 电连 显示器 镜头 | ||
【主权项】:
1.一种柱面镜测量设备,其特征在于:包括:气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器;其中,所述激光干涉仪用于测量柱面镜的PV值;所述显示器用于显示激光干涉仪测量的数据、图像信息;所述辅助支架在导轨上能够进行滑动,在辅助支架上安装有柱面镜头,利用辅助支架上的柱面镜头实现对柱面镜的测量;所述调节支架通过滑动座能够在滑轨上进行滑动,调节支架上设置有柱面镜,通过调节支架能够对柱面镜的前后、左右、高低、仰俯角度进行调整;所述光栅尺与滑动座连接,当调节支架在滑轨上滑动时,利用光栅尺检测调节支架上柱面镜的半径;所述辅助支架包括:安装在导轨上且在导轨上能够进行滑动的滑动座、设置在滑动座上的L型柱面镜头支架、安装在L型柱面镜头支架上的磁铁架、吸附在磁铁架上的柱面镜头;其中,在所述导轨的末端加工有限位销;所述限位销用于限制滑动座的移动位移;在所述导轨的水平面上加工有多个限位孔;所述滑动座的一端安装有L型安装座,在所述L型安装座上安装有可调节限位钮,当滑动座滑动到合适位置后,旋转可调节限位钮,将其旋转到限位孔内,以实现对滑动座的固定;所述L型柱面镜头支架的侧面安装有第一调节旋钮,在L型柱面镜头支架的底部安装有两个第二调节旋钮,在L型柱面镜头支架的顶端安装有夹紧旋钮,通过夹紧旋钮将磁铁架固定在L型柱面镜头支架上,通过第一调节旋钮、第二调节旋钮调节磁铁架的仰、俯角度;所述磁铁架的外轮廓为L型结构,磁铁架的中间为半圆形结构,在磁铁架的底部加工有托台;所述托台用于放置柱面镜头,起到支撑柱面镜头的作用;在所述磁铁架的三个顶点位置还加工有磁力垫;所述柱面镜头为方形结构,在柱面镜头的四角处均安装有镜头固定架;在所述镜头固定架上还设置有磁力钢珠,所述磁力钢珠吸附在磁力垫上。
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