[实用新型]一种三维表面非接触干涉测量仪有效
| 申请号： | 201820021522.3 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207923075U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 周峰;谭晓军;邝文辉;杜勇刚;邓崇凯 | 申请（专利权）人： | 广东普密斯视觉技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 刘克宽 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光学制造技术领域，尤其是指一种三维表面非接触干涉测量仪，包括激光器、空间滤波器、准直镜、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、成像镜头、CCD相机、第三反射镜和待测物放置台，所述激光器、空间滤波器、准直镜和第一反射镜同设于水平光轴线L1；所述第一反射镜、分光镜和待测物放置台同设于垂直光轴线L2；所述第二反射镜、分光镜和第三反射镜同设于水平光轴线L3；所述第二反射镜、成像镜头和CCD相机同设于垂直光轴线L4。本实用新型组件少，体积小，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜 分光镜 本实用新型 垂直光轴线 干涉测量仪 空间滤波器 水平光轴线 成像镜头 三维表面 激光器 待测物 放置台 非接触 准直镜 光学制造技术 体积小 | ||
【主权项】：
1.一种三维表面非接触干涉测量仪，其特征在于：包括激光器(1)、空间滤波器(2)、准直镜(3)、第一反射镜(4)、分光镜(5)、第二反射镜(6)、成像镜头(7)、CCD相机(8)、第三反射镜(9)和待测物放置台(10)，所述激光器(1)、空间滤波器(2)、准直镜(3)和第一反射镜(4)同设于水平光轴线L1；所述第一反射镜(4)、分光镜(5)和待测物放置台(10)同设于垂直光轴线L2；所述第二反射镜(6)、分光镜(5)和第三反射镜(9)同设于水平光轴线L3；所述第二反射镜(6)、成像镜头(7)和CCD相机(8)同设于垂直光轴线L4。
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