[实用新型]一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置有效
| 申请号： | 201820019349.3 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN207798544U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 庞晓露;席烨廷;高克玮;熊小涛;李红;徐秋发 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02;G01N3/04;G01N3/06;G01N3/20 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硬质薄膜材料应力测试领域，具体涉及一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置。所述样品装置包括样片夹持部件和应力加载部件；所述样片夹持部件夹持样品，所述应力加载部件在样品上施加可调应力。利用上述装置对样品施加不同应力，实现对薄膜不同深度处应力梯度的测定。本实用新型填补了薄膜材料在不同服役环境下的应力梯度原位演化测量装置的空白，实现了基于X射线的薄膜应力梯度的原位加载与测试。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜应力梯度 本实用新型 测试样品 加载部件 应力梯度 样片夹 施加 薄膜材料 材料应力 测量装置 测试领域 服役环境 样品装置 硬质薄膜 夹持 加载 可调 薄膜 测试 填补 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置，其特征在于，所述样品装置包括样片夹持部件和应力加载部件；所述样片夹持部件夹持样品，所述应力加载部件在样品上施加可调应力；包括样片夹持部件夹具、夹座；所述夹具包括夹具底部、夹具侧部和由夹具底部与夹具侧部围成的腔室，夹具底部设置有通孔，夹具侧部远离夹具底部的一端设置有卡边；所述应力加载部件包括加载底端和与加载底端相连的加载端，所述加载端从所述通孔延伸入所述腔室内，所述加载端延伸入腔室内的长度可调节，部分加载端和所述加载底端置于所述夹具底部的外侧；所述加载端将样品顶于所述卡边内；所述夹具置于所述夹座上，所述夹座包括留置孔，所述加载底端位于所述留置孔内。
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