[发明专利]一种提高多晶硅铸锭用坩埚内表面粗糙度的方法

摘要

本发明提供了一种提高多晶硅铸锭用坩埚内表面粗糙度的方法，包括：配置料浆，将料浆置入喷涂装置中，其中，喷涂装置包括旋转喷头，喷头包括底座和设于底座上的至少两个气体分散装置，底座中心设有料浆孔，至少两个气体分散装置相交于料浆孔，气体分散装置包括第一侧壁和与第一侧壁相连接的第二侧壁，至少两个第一侧壁相交于料浆孔，第一侧壁上设有第一分散孔。开启喷涂装置，料浆从料浆孔中喷出，压缩空气从第一分散孔中喷出，使料浆分散成多个颗粒，多个颗粒在坩埚内表面形成浆点。通过旋转喷头将料浆喷出，并通过倾斜设置的第一分散孔中喷出的压缩空气将料浆分散成多个颗粒，并均匀地落在坩埚内表面以形成浆点，最终提高了坩埚内表面的粗糙度。

主权项

1.一种提高多晶硅铸锭用坩埚内表面粗糙度的方法，其特征在于，包括以下步骤：配置料浆，将所述料浆置入喷涂装置中，其中，所述喷涂装置包括旋转喷头，所述喷头包括底座和设于所述底座上的至少两个气体分散装置，所述底座中心设有料浆孔，至少两个所述气体分散装置相交于所述料浆孔，所述气体分散装置包括第一侧壁和与所述第一侧壁相连接的第二侧壁，至少两个所述第一侧壁相交于所述料浆孔，所述第一侧壁上设有第一分散孔；开启所述喷涂装置，所述料浆从所述料浆孔中喷出，压缩空气从所述第一分散孔中喷出，使所述料浆分散成多个颗粒，多个所述颗粒在所述多晶硅铸锭用坩埚内表面形成浆点以提高所述多晶硅铸锭用坩埚内表面的粗糙度。