[发明专利]一种纳米连接装置和纳米线与电极连接方法

摘要

本发明提供了一种纳米连接装置和纳米线与电极连接方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述的纳米连接装置包括真空腔、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置、工控机和显示装置。本发明所述的纳米线与电极连接方法包括获取硅基底和电极基底，将所述硅基底和所述电极基底固定于精定位样品台上；利用粗定位样品台和所述精定位样品台进行所述硅基底的定位；利用纳米操作装置对纳米线和纳米颗粒进行定位；开启近场光发生装置，进行所述纳米线与所述电极之间的连接。本发明通过多功能的结构设计，辅助完成纳米光学天线的加工，从各个方面来提高纳米光学天线的加工精度与加工效率。

主权项

1.一种纳米连接装置，其特征在于，包括：真空腔(101)、电子束发射及调控模块(102)、电子束物镜(103)、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置(105)、工控机和显示装置(108)；所述纳米操作装置包括：精定位样品台(202)、精定位样品台(202)、三套第一运动机构(203)和第二运动机构(204)；所述近场光发生装置包括：激光发射装置、光纤探针和AFM探针；其中一套所述第一运动机构(203)上安装有所述光纤探针，另外两套所述第一运动机构(203)上分别安装有AFM探针，所述第二运动机构(204)上安装有钨针，所述精定位样品台(202)与所述粗定位样品台(201)相连接，所述电子束物镜(103)、所述纳米操作装置均位于所述真空腔(101)内部，所述保护气体引入装置(105)和所述电子束发射及调控模块(102)分别与所述真空腔(101)相连接，所述电子束物镜(103)与所述电子束发射及调控模块(102)相连接，所述工控机适于所述真空腔(101)、所述电子束发射及调控模块(102)、所述电子束物镜(103)、所述纳米操作装置和所述保护气体引入装置(105)的控制，所述显示装置(108)适于显示所述真空腔(101)内设定的区域。