[发明专利]扫描隧道显微镜针尖传递托在审
| 申请号： | 201811642875.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111381074A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 梅红萍;李昂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描隧道显微镜针尖传递托，针尖传递托包括：第一单元，第一单元包括第一表面及第二表面；第一单元的传递方式包括水平传递；底座，底座位于第一表面上，并与第一单元相连接，底座包括第一通孔及第二通孔，第一通孔的直径大于第二通孔的直径，且第一通孔与第二通孔的中心线重合，从而在第一通孔及第二通孔之间形成限位台阶面；弹性部件；弹性部件包括顶部、底部及弹性固定部；其中，顶部与限位台阶面相接触，底部与第一表面相接触，弹性固定部的水平截面距离小于第二通孔的直径；扫描隧道显微镜针尖托通过所述弹性固定部固定。可实现针尖在超高真空联合系统中的传递、原位处理及更换等操作，避免大气下杂质污染。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 隧道 显微镜 针尖 传递 | ||
【主权项】：
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