[发明专利]基板玻璃热收缩的检测装置、测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 201811638901.8 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109725019A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 李志勇;郑权;王丽红;闫冬成;李俊锋;张广涛 | 申请（专利权）人： | 东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 辛自强;陈庆超 |
| 地址： | 050000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种基板玻璃热收缩的检测装置、测量系统及测量方法，所述基板玻璃热收缩的检测装置包括用于调整基板玻璃位置的微调机构，用于观测所述基板玻璃热收缩变化的显微镜和与所述显微镜连接的计算机，所述微调机构包括设置在所述显微镜的载物台上的滑轨，以及沿所述滑轨上移动的承载平台。本公开提供的基板玻璃热收缩的检测装置能够检测基板玻璃的热收缩性，能够扩大测量样品尺寸，并且装置简单易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 基板玻璃 热收缩 检测装置 显微镜 测量系统 微调机构 测量 滑轨 玻璃位置 承载平台 调整基板 热收缩性 上移动 载物 观测 计算机 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基板玻璃热收缩的检测装置，其特征在于，所述基板玻璃热收缩的检测装置包括用于调整基板玻璃位置的微调机构(1)，用于观测所述基板玻璃热收缩变化的显微镜和与所述显微镜连接的计算机，所述微调机构(1)包括设置在所述显微镜的载物台上的滑轨(11)，以及沿所述滑轨(11)上移动的承载平台(12)。
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