[发明专利]靶材的回收装置及回收方法在审
| 申请号： | 201811621533.6 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111378838A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;罗明浩;寿奉粮;赵剑 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种靶材回收装置及回收方法，所述靶材回收装置包括：槽体；温度控制系统，所述温度控制系统位于所述槽体外表面上，控制所述槽体内温度。提供槽体后，在所述槽体外表面上设置温度控制系统，控制所述槽体内部温度。通过所述温度控制系统控制所述槽体内部的温度，适宜的温度能够促进所述靶材回收处理的反应速度，使得靶材表面的金属残留快速脱落，提升了靶材的处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811621533.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种芦笋液体创可贴及其制备方法
- 下一篇：显示屏装置和具有其的车辆
