[发明专利]太赫兹近场成像装置和方法在审
| 申请号： | 201811612958.0 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109696422A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杨彬;张艳东;丁庆;冯军正 | 申请（专利权）人： | 雄安华讯方舟科技有限公司;华讯方舟科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 071700 河北省保定市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及一种太赫兹近场成像装置和方法，太赫兹近场成像装置包括太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，用于将太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，探针单元设置在信号光的传输的光轴上，用于接收信号光并将信号光发射至样品，以激发样品反馈携带样品信息的反射光；反射单元设置在参考光传输的光轴上，用于接收并反射参考光；分束器还用于接收反射光和参考光，以形成反射光和参考光的太赫兹干涉光信号；处理模块，用于对太赫兹干涉光信号进行处理，以获取样品的图像信息。该装置通过将信号光通过探针单元发射至样品，并通过反射单元反射的参考光与样品反馈的反射光进行干涉，可以实现太赫兹近场成像，且分辨率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 参考光 信号光 近场成像装置 反射单元 探针单元 反射光 干涉光信号 分束器 光轴 发射 激光 反射参考光 接收反射光 接收信号光 处理模块 反射模块 光源模块 近场成像 图像信息 样品信息 传输 反馈 分辨率 反射 携带 干涉 激发 申请 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹近场成像装置，其特征在于，包括：太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，设置在所述太赫兹激光传输的光轴上，用于将所述太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，所述探针单元设置在所述信号光传输的光轴上，用于接收所述信号光并将所述信号光发射至样品，以激发所述样品反馈携带样品信息的反射光；所述反射单元设置在所述参考光传输的光轴上，用于接收并反射所述参考光；所述分束器还用于接收所述反射光和所述参考光，以形成所述反射光和所述参考光的太赫兹干涉光信号；处理模块，用于接收所述太赫兹干涉光信号，并对所述太赫兹干涉光信号进行处理，以获取所述样品的图像信息。
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