[发明专利]一种基板的检测方法有效
申请号: | 201811610474.2 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN109530244B | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 贺建腾 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00;B07C5/02;B07C5/36 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215125 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及基板检测技术领域,具体公开了一种基板的检测方法。基板的检测方法用于基板的检测或传输,检测方法包括:步骤1:提供一种基板的检测设备,检测设备包括设置于支架上的暂存载台与检测机构;步骤2:放置基板于检测机构或暂存载台上;步骤3:若基板位于暂存载台上,则进入步骤4;若基板位于检测机构,则对基板进行检测,并将检测完的基板自检测机构上卸载;步骤4:将基板自暂存载台上卸载。检测设备将基板放置于暂存载台上,则基板被分级为合格品。本发明提供的基板的检测方法能够同时实现基板的分级及检测,提高了基板的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基板的检测方法,用于基板(200)的检测或传输,其特征在于,所述检测方法包括:步骤1:提供一种基板的检测设备,所述检测设备包括设置于支架(6)上的暂存载台(21)与检测机构(1);步骤2:放置所述基板(200)于所述检测机构(1)或所述暂存载台(21)上;步骤3:若所述基板(200)位于所述暂存载台(21)上,则进入步骤4;若所述基板(200)位于所述检测机构(1),则对所述基板(200)进行检测,并将检测完的所述基板(200)自所述检测机构(1)上卸载;步骤4:将所述基板(200)自所述暂存载台(21)上卸载。
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