[发明专利]一种实时云纹干涉图高速相位提取系统及提取方法在审
申请号: | 201811606986.1 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN110243289A | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 马峻;毛露露;陈寿宏;徐翠锋;尚玉玲;郭玲 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/16 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 石燕妮 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明提出一种实时云纹干涉图高速相位提取系统,包括相位测量系统和控制模块,所述测量系统包括激光器、分光耦合器、相移器、隔振平台、底座、平移台、多维调节加载架、试件放置台、云纹干涉光路结构、可调节支杆、图像采集模块;所述控制模块与图像采集模块电连接;激光器、分光耦合器、相移器、底座设置于所述隔振平台上,平移台设置于底座上,多维调节加载架设置于平移台上,试件放置台设置于多维调节加载架上,激光器通过分光耦合器与云纹干涉光路结构连接,云纹干涉光路结构设置于试件放置台的上方空间;移相器与试件放置台连接;激光器发出的光经过云纹干涉光路结构后照射到待测试件表面,由待测试件反射至图像采集模块中。 | ||
搜索关键词: | 云纹干涉 光路结构 激光器 放置台 试件 图像采集模块 分光耦合器 多维调节 底座 待测试件 高速相位 隔振平台 控制模块 提取系统 加载架 平移台 相移器 相位测量系统 可调节支杆 测量系统 上方空间 平移 电连接 移相器 加载 反射 照射 架设 | ||
【主权项】:
1.一种实时云纹干涉图高速相位提取系统,其特征在于,该提取系统包括相位测量系统和控制模块(10),所述测量系统包括激光器(2)、分光耦合器(3)、相移器(4)、隔振平台(1)、底座(15)、平移台(16)、多维调节加载架(17)、试件放置台(5)、云纹干涉光路结构(6)、可调节支杆(7)和图像采集模块(8);所述控制模块与所述图像采集模块电连接;所述激光器(2)、分光耦合器(3)、相移器(4)、底座(15)设置于所述隔振平台(1)上,所述平移台(16)设置于底座上,所述多维调节加载架(17)设置于平移台上,所述试件放置台(5)设置于多维调节加载架(17)上,所述激光器(2)通过所述分光耦合器(3)与所述云纹干涉光路结构(6)连接,所述云纹干涉光路结构(6)设置于所述试件放置台(5)的上方空间;所述移相器(4)与所述试件放置台(5)连接;激光器(2)发出的光经过云纹干涉光路结构后照射到待测试件表面,由待测试件反射至图像采集模块(8)中。
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