[发明专利]一种测量非晶薄膜相变的系统及测量非晶薄膜相变的方法在审
| 申请号： | 201811603358.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109765270A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 吴凯;张金钰;王亚强;刘刚;孙军 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N25/12 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明具体公开了一种测量非晶薄膜相变的系统及测量方法，系统包括样品台、测电阻装置、原位加热及测试装置和上位机；测电阻装置包括电流表、电压表和两个探针；原位加热及测试装置包括加热台、导热片、测温元件和温度表；导热片置于加热台上，待测试样品置于导热片上，电流表和电压表均与探针的一端连接，探针的另一端搭接于待测试样品上；测温元件一端搭接于待测试样品的一端，测温元件另一端通过温度表与上位机连接。使电流表输出恒定的电流，随着温度的变化，在上位机上输出电压随温度变化的曲线，然后得到电阻对温度的变化曲线，分析电阻随温度的变化，间接监测材料微观结构的变化，研究非晶薄膜的相变行为。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶薄膜 测试样品 测温元件 导热片 电流表 测量 探针 温度表 测试装置 电阻装置 原位加热 电压表 上位机 搭接 电阻 材料微观结构 变化曲线 间接监测 输出电压 输出恒定 一端连接 加热台 样品台 加热 分析 研究 | ||
【主权项】：
1.一种测量非晶薄膜相变的系统，其特征在于，包括样品台(1)、测电阻装置、原位加热及测试装置和上位机(10)；测电阻装置包括电流表(2)、电压表(3)和两个探针(4)；原位加热及测试装置包括加热台(5)、导热片(6)、测温元件(8)和温度表(9)；导热片(6)置于加热台(5)上，待测试样品(7)置于导热片(6)上，电流表(2)的接线与两个探针(4)的一端连接，电压表(3)的接线与两个探针(4)的一端连接，两个探针(4)的另一端搭接于待测试样品(7)上；测温元件(8)一端搭接于待测试样品(7)的一端，测温元件(8)另一端与温度表(9)连接，温度表(9)和电压表(3)均与上位机(10)连接；样品台(1)上设有温控系统(13)，用于调节样品台(1)的温度。
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