[发明专利]一种适用于光谱椭偏仪的薄膜厚度初值测量方法有效
| 申请号： | 201811602778.4 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109470154B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 郭春付;夏小荣;李伟奇;张传维;李竹 | 申请（专利权）人： | 武汉颐光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 李佑宏 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于光谱椭偏仪的薄膜厚度初值测量方法，包括设置检测参数，利用椭偏仪测量获得样件薄膜的斯托克斯参量；将S光谱从斯托克斯参量中分解出来，并对其进行降噪处理；筛选出S光谱中的零值点并获取对应的波长，根据S光谱的零值点及其对应波长计算样件薄膜厚度初值。本发明技术方案针对现有技术中薄膜初值测量不准确的情况，通过对椭偏测量的斯托克斯参量进行检测以获得光谱零点，利用该零点实现薄膜厚度初值的准确估算。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 光谱 椭偏仪 薄膜 厚度 初值 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种适用于光谱椭偏仪的薄膜厚度初值测量方法，其特征在于，包括，S1设置检测参数，利用椭偏仪测量获得样件薄膜的斯托克斯参量；S2将S光谱从斯托克斯参量中分解出来，并对其进行降噪处理；S3筛选出S光谱中的零值点并获取对应的波长，根据S光谱的零值点及其对应波长计算样件薄膜厚度初值。
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