[发明专利]一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针有效
| 申请号： | 201811591980.1 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109490943B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 丁开忠;姚凯;吴昱城;宋云涛;陈永华;李君君;连欢;胡乐星 | 申请（专利权）人： | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针，包括传动座和氮化铝陶瓷支撑板，所述氮化铝陶瓷支撑板安装在辅助支撑架的上部，所述辅助支撑架一端通过销钉固定连接在传动座的上部，所述氮化铝陶瓷支撑板的内部中端安装有第二镀金钨丝靶，内部的一端安装有第一镀金钨丝靶，内部的另一端安装有第三镀金钨丝靶，所述第一镀金钨丝靶、第二镀金钨丝靶和第三镀金钨丝靶的顶部依次分别连接有第一信号线、第二信号线和第三信号线。该探针具有结构简单、加工方便、可靠性强，成本低廉的特点，可以分别测量束流流强、束流位置、束流剖面信息。可以为科研人员和分析人员提供可靠的束流信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子束 流流 位置 测量 交叉 探针 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针，其特征在于，包括传动座(1)和氮化铝陶瓷支撑板(4)，所述氮化铝陶瓷支撑板(4)安装在辅助支撑架(3)的上部，所述辅助支撑架(3)一端通过销钉(2)固定连接在传动座(1)的上部，所述氮化铝陶瓷支撑板(4)的内部中端安装有第二镀金钨丝靶(6)，内部的一端安装有第一镀金钨丝靶(5)，内部的另一端安装有第三镀金钨丝靶(7)，所述第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)的两端均贯穿连接氮化铝陶瓷支撑板(4)的上下两端，所述第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)的顶部依次分别连接有第一信号线(8)、第二信号线(9)和第三信号线(10)。
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