[发明专利]用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法在审
| 申请号： | 201811591214.5 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109432882A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 蒲健;朱建海;陈军;姚志伟;李本功 | 申请（专利权）人： | 聚灿光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D41/00 | 分类号： | B01D41/00 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 姚锦程 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法，所述过滤器用于MOCVD，所述自动清洗设备包括容纳碱液的碱液槽、容纳清水的清水槽和循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 自动清洗设备 过滤器 碱液槽 循环泵 清洗过滤器 控制系统 清水槽 碱液 容纳 碱液灌 水循环 水灌 清水 环保 安全 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洗过滤器的自动清洗设备，所述过滤器用于MOCVD，其特征在于；所述自动清洗设备包括：容纳碱液的碱液槽；容纳清水的清水槽；循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。
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