[发明专利]研磨材的制造方法及研磨材在审
| 申请号： | 201811589757.3 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109968187A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 下山贤治;笹岛启佑 | 申请（专利权）人： | 阪东化学株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种研磨材的制造方法及研磨材，所述研磨材即便增厚研磨层，厚度方向上的均质性也得到保证，可在维持优异的研磨速率及平坦化精度的同时提高寿命。本发明是一种研磨材的制造方法，所述研磨材包括基材；以及积层于该基材的表面侧且包含研磨粒、填充剂及粘合剂的研磨层，所述研磨材的制造方法包括：制备步骤，制备包含研磨粒、填充剂及粘合剂的研磨层用组合物；涂敷步骤，将研磨层用组合物涂敷于基材的表面；以及加热步骤，对涂敷步骤后的研磨层用组合物进行加热，在制备步骤中，将研磨层用组合物的固体成分中的研磨粒及填充剂的合计含量设为60体积％以上且85体积％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨材 研磨层 填充剂 研磨粒 基材 制备 粘合剂 制造 涂敷 组合物涂敷 加热步骤 研磨 均质性 平坦化 积层 增厚 加热 保证 | ||
【主权项】：
1.一种研磨材的制造方法，所述研磨材包括基材；以及积层于所述基材的表面侧且包含研磨粒、填充剂及粘合剂的研磨层，所述研磨材的制造方法包括：制备步骤，制备包含所述研磨粒、所述填充剂及所述粘合剂的研磨层用组合物；涂敷步骤，将所述研磨层用组合物涂敷于所述基材的表面；以及加热步骤，对所述涂敷步骤后的所述研磨层用组合物进行加热，在所述制备步骤中，将所述研磨层用组合物的固体成分中的所述研磨粒及所述填充剂的合计含量设为60体积％以上且85体积％以下，所述加热步骤具有：预干燥步骤，以常温下30分钟以上的条件对所述研磨层用组合物进行干燥；加热脱水步骤，在所述预干燥步骤后对所述研磨层用组合物的水分进行加热脱水；以及加热硬化步骤，在所述加热脱水步骤后对所述研磨层用组合物进行加热硬化。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阪东化学株式会社，未经阪东化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811589757.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
