[发明专利]一种旋转去气泡法制备PDMS薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种旋转去气泡法制备PDMS薄膜的方法，将聚二甲基硅氧烷与其凝固剂按10:1配制，充分搅拌均匀后置于真空干燥箱进行初步去气处理。将初步去气后的PDMS涂覆于下钢化玻璃底片中心，并在下钢化玻璃底片四角设置好所需高度的可变间距调节垫片。以上钢化玻璃盖片覆盖下钢化玻璃底片，将上钢化玻璃盖片与下钢化玻璃底片进行全接触面脱离，旋转360度至完全重合，气泡被带入玻璃外侧而无法再次进入上下钢化玻璃间。将其置于水平加热板加热，以重力压载物压覆实现厚度均一控制。最终脱模形成PDMS薄膜。本发明可为柔性可穿戴、电子及微流控芯片封装制备大面积PMDS薄膜。

主权项

1.一种旋转去气泡法制备PDMS薄膜的装置，其特征在于：该装置包括调平螺母(1)、调平底座(2)、加热装置(3)、加热装置开关(4)、PDMS流动区域(5)、下钢化玻璃底片(6)、可变间距垫片(7)、上钢化玻璃盖片(8)、重力压载物a(9)和重力压载物b(10)；调平螺母(1)和调平底座(2)共同组成水平调节装置，调平底座(2)的四个角部安装有调平螺母(1)；加热装置(3)安装在调平底座(2)上，加热装置(3)通过加热装置开关(4)实现加热控制；PDMS流动区域(5)、下钢化玻璃底片(6)、可变间距垫片(7)、上钢化玻璃盖片(8)及重力压载物a(9)和重力压载物b(10)共同组成PDMS薄膜成型装置，下钢化玻璃底片(6)安装在加热装置(3)上，下钢化玻璃底片(6)与上钢化玻璃盖片(8)之间设有可变间距垫片(7)，可变间距垫片(7)组成PDMS流动区域(5)，重力压载物a(9)和重力压载物b(10)设置在上钢化玻璃盖片(8)上；可变间距垫片(7)由一或多片25至500微米厚玻璃组成，保证最低成膜厚度25微米，且由于玻璃为刚性物体，从而实现PDMS薄膜厚度的精确控制。