[发明专利]基于悬檐尺寸调整有效机电耦合系数的装置在审
| 申请号： | 201811560329.8 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111355470A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨清瑞;庞慰;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/52 | 分类号： | H03H9/52;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 基于悬檐尺寸调整有效机电耦合系数的装置。本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述顶电极的边缘形成檐结构，所述檐结构与压电层之间具有介质，所述檐结构具有高度和宽度；且所述檐结构沿谐振器的厚度方向的投影落入所述声学镜的区域。可以通过调整所述檐高度和/或所述宽度，调节所述有效机电耦合系数。本发明还涉及一种滤波器，其至少一个谐振器为上述谐振器且有效机电耦合系数不同于其他谐振器的有效机电耦合系数。本发明还涉及一种包括上述体声波谐振器或滤波器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 尺寸 调整 有效 机电 耦合 系数 装置 | ||
【主权项】：
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