[发明专利]弹性波装置有效
申请号: | 201811559899.5 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN110034741B | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 福田大辅 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的课题在于,使得不易产生裂缝。弹性波装置(1)具备基板(11)、IDT电极(12)、间隔层(13)、覆盖构件(14)、以及保护层(15)。间隔层设置在基板上,且包围IDT电极。覆盖构件设置在间隔层上,且与IDT电极分离,具有间隔层侧的第一主面(141)和与第一主面对置的第二主面(142)。保护层(15)具有与第二主面相接的第三主面(153)、与第三主面对置的第四主面(154)、以及与第四主面相连的侧面(155)。在保护层中的侧面中的至少一部分,在从基板的厚度方向(D1)的俯视下,包含侧面与第四主面的交线(156)的部分位于比基板的外缘(113)靠内侧。 | ||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
【主权项】:
1.一种弹性波装置,具备:基板,在至少一部分具有压电性;IDT电极,设置在所述基板上;间隔层,设置在所述基板上,且包围所述IDT电极;覆盖构件,设置在所述间隔层上,与所述IDT电极分离,且具有所述间隔层侧的第一主面和与所述第一主面对置的第二主面;以及保护层,设置在所述覆盖构件上,具有与所述第二主面相接的第三主面、与所述第三主面对置的第四主面、以及与所述第四主面相连的侧面,在所述保护层中的所述侧面中的至少一部分,在从所述基板的厚度方向的俯视下,包含所述侧面与所述第四主面的交线的部分位于比所述基板的外缘靠内侧。
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