[发明专利]基于空腔尺寸调整有效机电耦合系数的装置在审
| 申请号： | 201811558489.9 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111355463A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨清瑞;庞慰;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 基于空腔尺寸调整有效机电耦合系数的装置。本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：底电极与压电层之间设置有第一空腔，和/或压电层与顶电极之间设置有第二空腔，其中，第一空腔具有第一宽度和第一高度，第二空腔具有第二宽度和第二高度，且声学镜、底电极、压电层、顶电极，以及第一和/或第二空腔在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域。可以通过调整空腔的高度和/或宽度，调节有效机电耦合系数。本发明还涉及一种滤波器，其至少一个谐振器为上述谐振器且有效机电耦合系数不同于其他谐振器的有效机电耦合系数。本发明还涉及一种包括上述谐振器或滤波器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 空腔 尺寸 调整 有效 机电 耦合 系数 装置 | ||
【主权项】：
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