[发明专利]一种扫光加工工艺有效
| 申请号： | 201811557636.0 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109664164B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 胡志海;邓敏;叶惠敏;邱欣南 | 申请（专利权）人： | 赣州市德普特科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 齐则琳;欧阳雪兵 |
| 地址： | 341400 江西省赣州*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫光加工工艺，包括以下步骤：正转第一阶段：设置加工时间为10s，上盘转速80‑100rpm，上小盘转速80‑100rpm，下盘转速3‑7rpm，下小盘转速1‑5rpm，加工压力90kg；正转第二阶段：设置加工时间为10s，上盘转速170‑190rpm，上小盘转速170‑190rpm，下盘转速3‑7rpm，下小盘转速1‑5rpm，加工压力100kg；反转第一阶段；反转第二阶段；该工艺省略了平磨和上扫下磨的工序，一步扫光打磨，使得器件更加平整、光亮，平晶平面度N≤3。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种扫光加工工艺，其特征在于包括以下步骤：正转第一阶段：设置加工时间为10s，上盘转速80‑100rpm，上小盘转速80‑100rpm，下盘转速3‑7rpm，下小盘转速1‑5rpm，加工压力90kg；正转第二阶段：设置加工时间为10s，上盘转速170‑190rpm，上小盘转速170‑190rpm，下盘转速3‑7rpm，下小盘转速1‑5rpm，加工压力100kg；反转第一阶段：设置加工时间为10s，上盘转速80‑100rpm，上小盘转速80‑100rpm，下盘转速3‑7rpm，下小盘转速1‑5rpm，加工压力90kg；反转第二阶段：设置加工时间为10s，上盘转速170‑190rpm，上小盘转速170‑190rpm，下盘转速3‑7rpm，下小盘转速1‑5rpm，加工压力100kg。
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