[发明专利]一种提高大型模具PVD膜层均匀性的方法有效
| 申请号： | 201811549499.6 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109576667B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 夏原;李光;高方圆;李明南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所;吉林省力科科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高大型模具PVD膜层均匀性的方法，调节控制模具托盘的转动轴转速，实现模具PVD膜层的整体镀膜均匀性，无需在真空腔体内安装任何辅助装置，因此不会对PVD镀膜过程中的真空室各处磁场分布和沉积效率等决定品质的关键因素有任何的干扰和影响，可高效的应用于各类PVD设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 大型 模具 pvd 均匀 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高大型模具PVD膜层均匀性的方法，其特征在于：调节控制模具托盘的转动轴转速，实现模具PVD膜层的整体镀膜均匀性。
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