[发明专利]感应加热直拉法生长单晶的辅助加热方法和装置及单晶炉在审

专利信息
申请号: 201811548809.2 申请日: 2018-12-18
公开(公告)号: CN109338461A 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 肖学峰;张学锋;韦海成;张欢 申请(专利权)人: 北方民族大学
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B15/14
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 周晓梅;孙彦虎
地址: 750021 宁夏回族*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 一种感应加热直拉法生长单晶的辅助加热方法,晶体生长的阶段,在坩埚外侧设置辅助温场,所述坩埚自身可发热,将所述辅助温场放置于坩埚径向延伸的坩埚侧壁外侧的位置,通过所述辅助温场加热坩埚内熔体,提高坩埚内熔体的纵向温度梯度,本发明技术方案中,通过在坩埚外侧增加辅助温场,为坩埚内熔体加热,这样就能抵消熔体液面上方裸露出的坩埚的侧壁对熔体产生的热量,保证晶体生长所需的温度梯度,本发明还提供了一种感应加热直拉法生长单晶的辅助加热装置,本发明还提供了一种感应加热直拉法生长单晶的单晶炉。
搜索关键词: 坩埚 感应加热 直拉法 单晶 温场 内熔体 生长 辅助加热 晶体生长 单晶炉 辅助加热装置 纵向温度梯度 方法和装置 加热坩埚 径向延伸 外侧设置 温度梯度 坩埚侧壁 侧壁对 体液 熔体 加热 抵消 发热 保证
【主权项】:
1.一种感应加热直拉法生长单晶的辅助加热方法,其特征在于:晶体生长的阶段,在坩埚外侧设置辅助温场,所述坩埚自身可发热,将所述辅助温场放置于坩埚径向延伸的坩埚侧壁外侧的位置,通过所述辅助温场加热坩埚内熔体,提高坩埚内熔体的纵向温度梯度。
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