[发明专利]一种连续镀膜生产线进出口室充气装置在审
| 申请号： | 201811537929.2 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109355636A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续镀膜生产线进出口室充气装置，包括充气管道、设置在充气管道上的真空阀门、与真空阀门连接并伸入真空箱体的匀气管，充气管道上通过支管连接有预充真空阀门，预充真空阀门连接匀气管并伸入真空箱体内，所述预充真空阀门的口径小于真空阀门，匀气管安装在真空箱体的顶部，在匀气管下方、基片的上方设置有第一挡板，所述第一挡板与真空箱体壁间留有空隙，在基片的两侧靠近基片各设有第二挡板，所述第二挡板通过支撑杆固定在真空箱体的内壁上，基片的上下端两块第二挡板之间留有空隙。采用本装置充气时，可减小气体对基片的正面冲击力度，从而不会对基片造成损伤，同时也可减小箱体内部粉尘对基片的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 真空阀门 真空箱体 气管 充气管道 第二挡板 预充 连续镀膜生产线 充气装置 第一挡板 减小 伸入 箱体内部 正面冲击 进出口 支撑杆 内壁 支管 充气 粉尘 口径 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种连续镀膜生产线进出口室充气装置，包括充气管道、设置在充气管道上的真空阀门、与真空阀门连接并伸入真空箱体的匀气管，其特征在于：充气管道上通过支管连接有预充真空阀门，预充真空阀门连接匀气管并伸入真空箱体内，所述预充真空阀门的口径小于真空阀门，匀气管安装在真空箱体的顶部，在匀气管下方、基片的上方设置有第一挡板，所述第一挡板与真空箱体壁间留有空隙，在基片的两侧靠近基片各设有第二挡板，所述第二挡板通过支撑杆固定在真空箱体的内壁上，基片的上下端两块第二挡板之间留有空隙。
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