[发明专利]精密工件的圆柱度非接触式测量装置及方法在审
| 申请号： | 201811537110.6 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109579736A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 解来运;贾乃勋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 董娜 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于圆柱度测量领域，特别是涉及一种精密工件的圆柱度非接触式测量装置及方法，解决现有精密工件圆柱度的测量方法对工件本身造成损伤，表面留有微小划痕，以及误差较大的问题。该装置包括转台和设置在转台侧面的两组柱面自准直仪；所述转台用于固定被测圆柱工件，且被测圆柱工件与转台同轴；每组所述柱面自准直仪包括线光源、分光元件、准直柱面镜及标准柱面镜头；所述线光源的出射光依次经过分光元件、准直柱面镜、标准柱面镜头变为会聚线光束，所述会聚线光束的焦线位于转台的转轴位置；所述会聚线光束经被测圆柱工件表面反射，沿原路返回，经分光元件被光敏感器接收。 | ||
| 搜索关键词： | 转台 分光元件 精密工件 圆柱工件 线光束 圆柱度 非接触式测量装置 会聚 柱面镜头 自准直仪 线光源 柱面镜 柱面 准直 圆柱度测量 表面反射 光敏感器 原路返回 转轴位置 出射光 划痕 焦线 两组 同轴 损伤 测量 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种精密工件的圆柱度非接触式测量装置，其特征在于：包括转台(2)和设置在转台(2)侧面的两组柱面自准直仪；所述转台(2)用于固定被测圆柱工件(1)，且被测圆柱工件(1)与转台(2)同轴；每组所述柱面自准直仪包括线光源(7)、分光元件(5)、准直柱面镜(4)及标准柱面镜头(3)；所述线光源(7)的出射光依次经过分光元件(5)、准直柱面镜(4)、标准柱面镜头(3)变为会聚线光束，所述会聚线光束的焦线位于转台(2)的转轴位置；所述会聚线光束经被测圆柱工件(1)表面反射，沿原路返回，经分光元件(5)被光敏感器(6)接收。
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