[发明专利]一种延长抛光布使用寿命的处理方法有效
| 申请号： | 201811529111.6 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111318964B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 林霖;史训达;李彦君;刘云霞;陈克强;杨少昆;周莹莹;李奇 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种延长抛光布使用寿命的处理方法，包括以下步骤：(1)刷盘刷布：将刷盘放置在贴好抛光布的抛光机盘面上，用抛光机的压力头压住刷盘，刷盘与抛光机大盘旋转方向相同；(2)高压水冲洗：用高压水冲洗抛光布表面，用高压水把整张抛光布冲洗一遍；(3)修整环研磨：将修整环放置在抛光布上，用抛光机的压力头压住修整环，修整环与抛光机大盘旋转方向相同，修整环研磨抛光布的时间为10s～5min；然后使修整环与抛光机大盘旋转方向相反，压力范围、转速范围和超纯水流量范围都不变，继续研磨抛光布10s～5min。本发明的方法对抛光布使用寿命的延长效果非常显著，可有效延长抛光布的使用寿命，且始终不会影响硅衬底抛光片的几何形貌水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 抛光 使用寿命 处理 方法 | ||
【主权项】：
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