[发明专利]一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统在审
| 申请号： | 201811517416.5 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109540904A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 崔长彩;李子清;胡中伟;陆静;徐西鹏 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;张迪 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统，系统包括缺陷检测模块，图像处理模块和缺陷分类模块，其中，缺陷检测模块主要是线阵视觉检测系统，实现衬底表面缺陷的全场检测；图像处理模块包括图像采集卡，计算机以及图像处理和特征提取等程序，实现采集衬底表面缺陷的全场图像，并提取缺陷的特征参数；缺陷分类模块是基于提取的缺陷特征参数进行分析，实现对衬底表面缺陷的分类。本发明作为一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统，不仅可实现对衬底衬底表面宏观缺陷的全场快速扫描测试，还可以对衬底表面宏观缺陷进行分类，该系统不局限于某一种衬底表面宏观缺陷的检测和分类，还可用于其他衬底表面宏观缺陷的检测和分类。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底表面 宏观缺陷 分类系统 检测 缺陷检测模块 图像处理模块 分类 缺陷分类 视觉检测系统 图像采集卡 快速扫描 全场检测 全场图像 缺陷特征 特征参数 特征提取 图像处理 衬底 可用 线阵 采集 测试 局限 计算机 分析 | ||
【主权项】：
1.一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统，其特征在于包括：缺陷检测模块、图像处理模块和缺陷分类模块；所述缺陷检测模块包括光源、相机、载物台，所述光源发出的光照射在被测衬底样品表面；所述相机收集经被测样品反射回来的光并成像；所述图像处理模块，其特征在于包括：图像采集卡、计算机、图像处理程序，由所述图像采集卡采集的图像传输至所述计算机，再由所述图像处理程序对所述计算机中的图像进行处理并提取被测衬底样品表面缺陷的特征参数；所述缺陷分类模块，其特征在于包括对所述图像处理模块提取的衬底表面缺陷的特征参数进行归纳和分析，基于所提取的衬底表面缺陷的特征参数对衬底表面缺陷进行分类。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华侨大学，未经华侨大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811517416.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
