[发明专利]有机聚硅氧烷化合物和包含其的活性能量线固化性组合物

摘要

本发明提供有机聚硅氧烷化合物和包含其的活性能量线固化性组合物。是给予耐开裂性优异、硬度的历时变化小、可碱显影的固化膜的有机聚硅氧烷和含有该聚硅氧烷、可用作负型抗蚀剂材料的活性能量线固化性组合物。有机聚硅氧烷化合物，其具有由式(I)～(III)表示的结构单元，与硅原子直接结合的烷氧基数和羟基数的合计相相对于硅原子数之比为0.3以下。(R¹、R⁴表示氢原子、甲基、乙基、正丙基或异丙基，R²、R⁵表示碳原子数1～10的2价烃基，R³表示氢原子或甲基，R⁶表示氢原子、碳原子数1～8的烷基、苯基、(甲基)丙烯酰氧基丙基或缩水甘油氧基丙基，n表示满足0≤n≤2的整数，m表示满足0≤m≤2的整数)。

主权项

1.有机聚硅氧烷化合物，其特征在于，具有由下述式(I)、(II)和(III)表示的结构单元，并且与硅原子直接结合的烷氧基数和羟基数的合计相对于硅原子数之比为0.3以下，【化1】(R⁶)₃SiO_1/2   (III)式中，R¹和R⁴相互独立地为氢原子、甲基、乙基、正丙基、或异丙基，R²和R⁵相互独立地表示碳原子数1～10的2价烃基，R³表示氢原子或甲基，R⁶相互独立地表示氢原子、可被卤素原子取代的碳原子数1～8的烷基、苯基、(甲基)丙烯酰氧基丙基、或缩水甘油氧基丙基，n表示满足0≤n≤2的整数，m表示满足0≤m≤2的整数。