[发明专利]一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的方法

摘要

本发明公开了一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的方法，首先将腔体抽真空，然后让阀门开启和关闭，让阀门开启和关闭的次数达到待测阀门实际的工作次数后，阀门工作过程中脱落的粒子掉落在腔体内，然后通过粒子计数器对脱落的粒子进行计数。其计算原理为用气体将脱落的粒子吹入到粒子计数器中进行计数，然后将同样流量的气体吹入到粒子计数器中计数，两者比较就可以得出脱落粒子的数量。本发明能够检测阀门工作过程中粒子脱落的数量，以便真空阀门的生产方和购买方能够准确了解到真空阀门的粒子脱落量数据，解决了由于真空阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。

主权项

1.一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1，将待测阀门放入一个腔体内，然后开启待测阀门，对腔体抽真空；步骤2，驱动待测阀门在腔体内进行开启和关闭动作，在待测阀门开启和关闭动作的次数达到指定次数后，即可停止，停止后，待测阀门处于开启状态；步骤3，在腔体上连接气体通入装置和粒子计数器，气体通入装置通过管路与粒子计数器相连；步骤4，先通过气体通入装置将气体通入到已经清零的粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字a，然后将粒子计数器清零后，通过气体通入装置向腔体内通入同样流量的气体，气体进入腔体后再进入到粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字b，计算出粒子脱落数量c=b‑a；或者先通过气体通入装置向腔体内通入气体，气体进入腔体后再进入到粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字a1，然后将粒子计数器清零后，通过气体通入装置将同样流量的气体通入到已经清零的粒子计数器中计数，记录下粒子计数器显示的数字b1，计算出粒子脱落数量c1=a1‑b1。