[发明专利]感光型复合材料及使用其形成复合薄膜的方法有效
| 申请号： | 201811511723.2 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109991813B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 苏育央;杨智仁;吕奇明 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 肖靖泉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： |
本公开提供一种感光型复合材料，包括：0.1～20.5重量份的纳米多孔硅材料，其中纳米多孔硅材料的表面及其孔洞的表面具有疏水基团；10.9～68.6重量份的硅氧烷聚合物，其为具有式(I)的结构的单体的同聚物： |
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| 搜索关键词： | 感光 复合材料 使用 形成 复合 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感光型复合材料，包括：0.1～20.5重量份的纳米多孔硅材料，其中该纳米多孔硅材料的表面及其孔洞的表面具有疏水基团；10.9～68.6重量份的硅氧烷聚合物，其为具有式(I)的结构的单体的同聚物：![]()
其中R各自独立为直链或支链的C1～C10烷基，n为10～1000的整数，X包括硅氧烷基、甲基丙烯酸甲酯基、环氧基、乙烯基、或丙烯酸酯基；以及10.9～89重量份的感光硅氧烷组合物，其包括具有至少一个末端官能基为乙烯基(‑CH＝CH2)的硅氧烷聚合物以及具有至少一个末端官能基为硫醇基(‑SH)的硅氧烷聚合物，以100重量份的感光型复合材料为基准。
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