[发明专利]基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法在审
| 申请号： | 201811497335.3 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109580639A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;刘婧;王宇航;刘辰光;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法，点光源发出的光经过中空反射镜、准直镜、凸锥面镜、凹锥面镜生成环形光，环形光经中空反射镜、分光棱镜和物镜，将环形光汇聚至待测样品，待测样品发出的反射光和散射光经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被遮挡散射光经过收集透镜和探测针孔，入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用同心双锥面镜生成环形光，光能利用率接近百分之百，提高了成像对比度和信噪比；上下移动的圆柱销可以改变环形光占空比；采用环形光束照明，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，检测方法适用于亚表面无损检测。 | ||
| 搜索关键词： | 环形光 亚表面 同心双锥面镜 暗场 共焦 中空反射镜 待测样品 分光棱镜 检测装置 反射光 散射光 信噪比 光阑 入射 物镜 检测 共焦显微技术 成像对比度 光电探测器 光能利用率 亚表面损伤 环形光束 结合探测 上下移动 收集透镜 探测针孔 无损检测 凹锥面 点光源 凸锥面 圆柱销 占空比 准直镜 遮挡 探测 汇聚 | ||
【主权项】：
1.基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置，其特征在于，包括：照明系统和探测系统；所述照明系统包括点光源(1)、准直镜(2)、凸锥面镜(3)、凹锥面镜(4)、中空反射镜(6)、分光棱镜(7)和物镜(8)；所述点光源(1)发出的光依次经所述中空反射镜(6)和所述准直镜(2)形成平行光，所述平行光经所述凸锥面镜(3)反射至所述凹锥面镜(4)后形成环形光，所述环形光依次经所述中空反射镜(6)、所述分光棱镜(7)和所述物镜(8)聚焦至待测样品(9)上；所述探测系统包括所述物镜(8)、所述分光棱镜(7)、探测互补光阑(10)、收集透镜(11)、探测针孔(12)和光电探测器(13)；所述待测样品(9)发出的反射光和散射光依次经所述物镜(8)和所述分光棱镜(7)后，入射至所述探测互补光阑(10)，所述探测互补光阑(10)遮挡所述反射光，且所述散射光依次经所述收集透镜(11)和所述探测针孔(12)入射至所述光电探测器(13)；所述照明系统和所述探测系统共用所述分光棱镜(7)和所述物镜(8)。
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