[发明专利]一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法有效
| 申请号： | 201811495502.0 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109485012B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王旭迪;周问天;花雨;陈志强;林文豫;齐嘉东;游徳学 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法，首先使用光刻和热压键合工艺在硅片上制作通道型标准漏孔，再将可伐圆板焊接在可伐管内，并将KF40法兰焊接在可伐管一端，随后在可伐圆板与KF40法兰上打孔，之后将玻璃浆料涂覆在可伐管中的圆板面上，待加热烧结玻璃浆料完成玻璃化后，再盖上标准漏孔，重新加热到玻璃浆料的熔融温度，自然降温后可完成对可伐管与标准漏孔的密封。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 玻璃 浆料 标准 漏孔 密封 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法，其特征是首先使用光刻和热压键合工艺在硅片上制作通道型标准漏孔，再将一个可伐圆板焊接在可伐管内，并在圆板上打小孔；之后将玻璃浆料涂覆在可伐管中的圆板上，待烧结玻璃浆料完成玻璃化后，再盖上标准漏孔，加热到熔融态保持一定时间，自然降温后可完成对可伐管与标准漏孔的密封。
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