[发明专利]一种用于高功率终端光学系统的动态洁净维持系统和方法有效
| 申请号： | 201811486698.7 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109622555B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 冯斌;李平;卢礼华;朱德燕;柴向旭;王礼权;王冠中;敬域堃;郑奎兴;朱启华 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B08B17/02 | 分类号： | B08B17/02;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 阳佑虹 |
| 地址： | 621900 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高功率终端光学系统的动态洁净维持系统和方法，属于高功率激光装置技术研究领域。所述系统包括层流单元和风刀单元；所述层流单元用于提供动态洁净层流，所述风刀单元用于提供高压风刀气帘。高功率终端光学系统在长期运行中会在其内部的光学元件表面沉积打靶产生的粉尘和气溶胶污染物，导致光学元件的寿命大大缩短，终端光学元件的洁净控制已经成为限制装置高通量运行的瓶颈，本发明因此提出了风刀气帘防护与洁净层流防护相耦合实现光学元件表面洁净管控的技术措施，可防止打靶产生的粉尘和气溶胶污染物附着于光学元件表面，并将其及时排出终端光学系统，因而可长期维持终端光学系统内光学元件表面的洁净。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 功率 终端 光学系统 动态 洁净 维持 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于高功率终端光学系统的动态洁净维持系统，用于对终端光学系统腔体以及腔体内的光学元件进行洁净吹扫，其特征在于，所述动态洁净维持系统包括层流单元和风刀单元；所述层流单元用于提供动态洁净层流对尘埃污染物进行清除，所述风刀单元用于提供高压风刀气帘对污染物在光学元件上的沉降进行阻断和隔离；在气体对流通道上，无任何遮挡气流的结构件。
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