[发明专利]一种用于改善真空窗口元件激光诱发损伤的系统和方法有效
| 申请号： | 201811486222.3 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109683309B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李平;冯斌;朱启华;朱德燕;柴向旭;王礼权;王冠中;敬域堃;陈波 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 阳佑虹 |
| 地址： | 621900 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于改善真空窗口元件激光诱发损伤的系统和方法，属于高功率激光装置研究与设计领域。该系统沿光路方向依次包括：聚焦透镜(2)、真空窗口(3)、真空靶室(6)、第二屏蔽片(9)、第一屏蔽片(4)；所述聚焦透镜(2)将入射主激光(1)汇聚于真空靶室(6)的焦平面(5)上，真空窗口(3)用于隔离靶室的真空环境(8)和终端系统的大气环境(7)。本发明提出的系统和方法实现了真空窗口多种需求的功能分离，从而可针对性地对真空窗口的使用环境进行管控；增加屏蔽片作为耗材承担真空面易损伤的特性，能将真空窗口和屏蔽片之间形成低压密闭动态的气体环境，可进一步提升真空窗口元件的使用寿命，为含真空腔体的光学和结构设计提供了技术指导。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 改善 真空 窗口 元件 激光 诱发 损伤 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于改善真空窗口元件激光诱发损伤的系统，其特征在于，该系统沿光路方向依次包括：聚焦透镜(2)、真空窗口(3)、真空靶室(6)、第二屏蔽片(9)、第一屏蔽片(4)；所述聚焦透镜(2)将入射主激光(1)汇聚于真空靶室(6)的焦平面(5)上，真空窗口(3)用于隔离靶室的真空环境(8)和终端系统的大气环境(7)，所述第一屏蔽片(4)用于防护溅射物对真空窗口(3)的污染；所述真空窗口(3)和第二屏蔽片(9)用于构成一密闭腔体，腔体的两侧分别安装有充气管(11)和抽气管(12)，充气管(11)通过阀门与洁净气源连接，抽气管(12)通过阀门与真空靶室(6)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811486222.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
