[发明专利]晶圆制造生产线的排货方法

摘要

本发明公开了一种晶圆制造生产线的排货方法，包括步骤：步骤一、收集FAB以往形成的WIP的数量、uptime、process time和机台数量和相应的跑货量并得到对应第一映射关系。步骤二、在第一映射关系的基础上，以uptime和process time的平均值为输入，改变WIP的数量并得到和WIP的数量相对应的跑货量，形成在uptime和process time的平均值的基础上的WIP的数量和跑货量的第二关系曲线。步骤三、在第二关系曲线上得到WIP的数量的转折点值以及饱和跑货量。步骤四、根据WIP的数量的转折点值以及饱和跑货量进行排货安排。本发明能提高排货的准确性和科学性。

主权项

1.一种晶圆制造生产线的排货方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、收集晶圆制造生产线上以往形成的WIP的数量、uptime、process time和机台数量，其中WIP为在制品，uptime为机台的实际从事生产的时间，process time为制造时间；以及收集和WIP的数量、uptime、process time和机台数量相对应的跑货量；得到WIP的数量、uptime、process time和机台数量和对应的跑货量的第一映射关系；步骤二、在所述第一映射关系的基础上，以uptime和process time的平均值为输入，改变WIP的数量并得到和WIP的数量相对应的跑货量，形成在uptime和process time的平均值的基础上的WIP的数量和跑货量的第二关系曲线；步骤三、在所述第二关系曲线上得到WIP的数量的转折点值以及饱和跑货量；步骤四、根据WIP的数量的所述转折点值以及饱和跑货量进行排货安排。