[发明专利]一种玻璃不变色的蒸镀工艺有效
| 申请号： | 201811466035.9 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109371364B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;何有斌 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/26;C23C14/12;C03C17/42 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 周晓艳;郑隽 |
| 地址： | 410100 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种玻璃不变色的蒸镀工艺，包括离子源清洗，具体是：对玻璃进行等离子清洗；沉积Si |
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| 搜索关键词： | 一种 玻璃 变色 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃不变色的蒸镀工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：离子源清洗，具体是：对玻璃进行等离子清洗；步骤2：沉积SixNy，具体是：对镀膜设备腔体内抽真空，并通入氩气和氮气，硅分子与氮气在腔体内反应生成SixNy，并沉积在玻璃表面；其中x为1至3的自然数，y为2至6的自然数；步骤3：镀膜料，具体是：加热膜料，使膜料蒸发并沉积在SixNy层上。
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