[发明专利]一种复合型比较法真空校准系统及方法有效
| 申请号： | 201811432009.4 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109341946B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 柏向春;田虎林;王欢;董云宁;卢耀文 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 王大方;金杨 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复合型比较法真空校准系统及方法，包括：机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔；所述分子泵的抽气出口通过第一真空阀门与机械泵连接，其抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接且其通过第三真空阀门连接至机械泵；第一真空室与第三真空计连接、通过第四真空阀门连接第二真空计；所述第一开孔通过第五真空阀门、第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门后与气瓶连接；所述第八真空阀门连接至第二真空室，及第二真空室上连接第一真空计且通过第十真空阀门连接至机械泵。本发明将多种检测技术集成在一台设备上，能够节约设备成本，扩大校准范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合型 比较法 真空 校准 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种复合型比较法真空校准系统，其特征在于，包括：机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔；所述机械泵通过第一真空阀门与分子泵的抽气出口连接，所述分子泵的抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接，且第一真空室通过相连接的第三开孔连接第三真空阀门的一端，第三真空阀门的另一端连接至机械泵；并且，所述第一真空室分别与第三真空计、第四真空阀门的一端连接；所述第四真空阀门的另一端连接至第二真空计；所述与第一真空室相连接的第一开孔通过第五真空阀门连接至第七真空阀门的一端，且与第一真空室相连接的第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门的一端，及第七真空阀门的另一端与气瓶连接；所述第九真空阀门的一端连接第二真空计，且第九真空阀门的另一端连接第七真空阀门的一端；所述第八真空阀门的一端连接第七真空阀门的一端，且第八真空阀门的另一端连接至第二真空室，及第二真空室上连接第一真空计并且第二真空室通过第十真空阀门连接至机械泵。
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