[发明专利]一种高气密性离子迁移管有效
申请号: | 201811412007.9 | 申请日: | 2018-11-25 |
公开(公告)号: | CN110504154B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 陈创;李海洋;王卫国;蒋丹丹;陈红;厉梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;H01J49/02 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开一种高气密性的离子迁移管,其采用平面配合和应力弹簧挤压的方法实现离子迁移管内部的气相密封,离子迁移管的工作温度在0~150℃、内部气压在300~1200Torr之间调节时不会发生气体渗露。该方法避免了密封胶、橡胶O圈等热不稳定性密封材料的使用,有效解决离子迁移管在高低温交变环境中绝缘材料胀缩形变造成的气密性差、易受污染等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 气密性 离子 迁移 | ||
【主权项】:
1.一种高气密性离子迁移管,所述离子迁移管为一中空圆柱状腔体,在腔体两端分别设置反应离子产生装置离子源以及离子检测装置离子接收极;在腔体内部位于离子源和离子接收极之间设置离子门,将腔体内部分成两个区域,其中离子源和离子门之间构成电离区,离子门和离子接收极之间构成迁移区;其特征在于:/n电离区和迁移区均由平板状圆环电极与平板状圆环绝缘体交替叠合构成,平板状圆环绝缘体的厚度0.005-2毫米,平板状圆环电极与平板状圆环绝缘体之间存在绕中部通孔一周的平面接触;/n离子门由片状圆形栅网电极及片状圆环形绝缘体交替叠合构成,片状圆环形绝缘体的厚度0.005-2毫米,片状圆形栅网电极的四周外缘设有圆环形片状金属,片状圆形栅网电极同轴置于圆环形片状金属内部,圆环形片状金属与片状圆环形绝缘体之间存在绕中部通孔一周的平面接触;/n离子源为固定于一圆形导电极板上的圆筒状离子源或圆环状平板离子源;离子接收极为圆筒状离子接收极或圆环状平板离子接收极;/n离子源的圆形导电极板与电离区之间、电离区与离子门之间、离子门与迁移区之间、迁移区与离子接收极之间存在绕中部通孔一周的平面接触;/n离子迁移管置于一左端密闭右端开口的筒体绝缘固定外壳内,于左密闭端中部开设有通孔,于离子迁移管左端圆形导电极板和固定外壳左侧密闭端内壁面间设有压力弹簧,于离子迁移管右端离子接收极的右侧设有压力弹簧,固定外壳的右开口端设有内螺纹或外螺纹,一带有外螺纹或内螺纹的圆形压盖螺合于固定外壳的右开口端,圆形压盖与离子接收极右侧的压力弹簧抵接;于压盖中部设有通孔。/n
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