[发明专利]一种泵电流可调的NOx传感器芯片在审
| 申请号： | 201811387480.6 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109507262A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡丰勇 | 申请（专利权）人： | 温州百岸汽车零部件有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/41 | 分类号： | G01N27/41 |
| 代理公司： | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人： | 陈孝政 |
| 地址： | 325000 浙江省温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种泵电流可调的NOx传感器芯片，包括芯片基体，所述芯片基体上从上至下依次设置有保护层、外电极和进气口；芯片基体内从左至右依次设置有第一内泵电极工作腔和第二内泵电极工作腔，第一内泵电极工作腔与进气口连通，且第一内泵电极工作腔内设置有表面覆盖层、扩散障碍层、粘结剂过渡层、第一内泵上电极、第一内泵衔接电极和第一内泵下电极；表面覆盖层覆盖在所述扩散障碍层的上表面上，通过对表面覆盖层进行激光切割加工调整扩散障碍层的尾气进入速度；扩散障碍层的底面与粘结剂过渡层粘接固定。上述技术方案，结构设计合理、结构新颖、能够有效地调节IP0的大小、提高产品合格率、降低产品制造成本且实用性好。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散障碍层 泵电极 工作腔 表面覆盖层 进气口 芯片基体 依次设置 芯片 泵电流 过渡层 可调的 粘结剂 电极 产品制造成本 产品合格率 从上至下 激光切割 粘接固定 保护层 上表面 外电极 下电极 有效地 底面 连通 尾气 体内 衔接 覆盖 加工 | ||
【主权项】：
1.一种泵电流可调的NOx传感器芯片，包括芯片基体(1)，其特征在于：所述芯片基体(1)上从上至下依次设置有保护层(2)、外电极(3)和进气口(11)；所述芯片基体(1)内从左至右依次设置有第一内泵电极工作腔(12)和第二内泵电极工作腔(13)，所述第一内泵电极工作腔(12)与进气口(11)连通，且第一内泵电极工作腔(12)内设置有表面覆盖层(4)、扩散障碍层(5)、粘结剂过渡层(6)、第一内泵上电极(7)、第一内泵衔接电极(8)和第一内泵下电极(9)；所述表面覆盖层(4)覆盖在所述扩散障碍层(5)的上表面上，通过对表面覆盖层(4)进行激光切割加工调整扩散障碍层(5)的尾气进入速度；所述扩散障碍层(5)的底面与粘结剂过渡层(6)粘接固定；所述第一内泵衔接电极(8)设置在第一内泵上电极(7)和第一内泵下电极(9)之间，且第一内泵上电极(7)、第一内泵衔接电极(8)和第一内泵下电极(9)连接后构成一个完整的第一内泵电极装置，且该第一内泵电极装置与外电极(3)一起构成第一组氧泵。
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