[发明专利]检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201811385767.5 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111198192B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;黄有为;崔高增;王天民 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种检测设备，包括：光源发生器，生成待处理光线；光源处理器，对待处理光线进行处理，以在待测物上形成尺寸可调节的光斑；信号收集器，在不同放大倍率下收集检测区域中的缺陷产生的探测光；探测器，对探测光进行探测得到探测光信号。本申请实施例还提供相应的检测方法。本申请技术方案由于通过光源处理器产生不同尺寸的光斑，可以满足检测设备在多种检测精度下的需求，并且避免了光斑尺寸过大导致光斑照射到检测区域以外的区域，产生干扰信号，影响检测结果的准确度的问题，进而能够适应不同情况对光斑尺寸的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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