[发明专利]基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置在审
| 申请号： | 201811377820.7 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109440070A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 李小宝;周国山;夏佑科;沈玉军;陈慧娟;蔡渊 | 申请（专利权）人： | 东部超导科技（苏州）有限公司;苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，包括一体成型的本体，所述本体内开设有进水口、出水口和用于限制冷却液体的导向槽，所述进水口和所述出水口分别设置在所述导向槽的两端；所述导向槽的包络线为矩形。本发明能够在兼顾密封性的同时提高冷却的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 导向槽 冷却装置 纳米涂层 出水口 溅射靶 进水口 一体成型的 冷却液体 包络线 密封性 内开 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，包括一体成型的本体，所述本体内开设有进水口、出水口和用于限制冷却液体的导向槽，所述进水口和所述出水口分别设置在所述导向槽的两端；所述导向槽的包络线为矩形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东部超导科技（苏州）有限公司;苏州新材料研究所有限公司，未经东部超导科技（苏州）有限公司;苏州新材料研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811377820.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
