[发明专利]一种点激光位移传感器测量误差校对的实验方法及装置

摘要

一种点激光位移传感器测量误差校对的实验方法及装置，涉及点激光位移传感器。实验装置设有激光干涉仪、光路组件、六自由度固定架、点激光位移传感器、正弦规、分度盘、标准量块和数控加工中心。构建了点激光位移传感器测量物面时的入射倾角、转角转角和入射摆角数学模型，推导出三者关系，为点激光位移传感器误差校对提供了理论支持。基于数学模型，搭建了误差校对实验装置，操作简单，针对性强，可以极大简化实验工作量。对实验结果进行了误差分析，得到了入射倾角、入射转角、入射摆角三个测量因素对测量误差的影响规律，为基于点激光位移传感器的工件非接触快速、精确检测技术提供保障。

主权项

1.一种点激光位移传感器测量误差校对的实验装置设有激光干涉仪、光路组件、六自由度固定架、点激光位移传感器、正弦规、分度盘、标准量块和数控加工中心；所述激光干涉仪和光路组件由磁力表架固定在数控加工中心的Z轴和工作台上，Z轴通过数控系统控制进行移动；六自由度固定架安装在数控加工中心的Z轴上，分度盘安装在工作台上，所述正弦规放置在点激光位移传感器正下方的分度盘上，随分度盘进行转角的旋转，入射倾角由正弦规、标准量块搭建，通过调整标准量块的高度达到调整入射倾角大小的目的，通过调整旋转分度盘和六自由度固定架调整入射转角、入射摆角的大小。