[发明专利]气体换装系统与方法在审
| 申请号： | 201811354302.3 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111191744A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 杨元凯;熊天林;林清海 | 申请（专利权）人： | 宇辰系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06K17/00 | 分类号： | G06K17/00;G05B19/04 |
| 代理公司： | 北京德高行远知识产权代理有限公司 11549 | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种气体换装系统及方法，特别于操作人员的身分卡、气体钢瓶、钢瓶容置机柜皆贴置有特别设计的信息携载单元。以一可携式电子装置读取这些信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统CSRC便可以在确认操作人员是否具有机台操作权限之后，要求操作人员先执行气体管线的吹净作业(Purge)，避免高危险气体(例如:NH3或SiH4)泄漏。之后，中央监控系统才会解除待更换的气体钢瓶的安全装置(Auto guard)，允许操作人员以新的气体钢瓶替换之。如此方式，能够确保所有机台的料品更换皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免在执行料品的去旧换新的程序过程中发生人为操作异常。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 换装 系统 方法 | ||
【主权项】：
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