[发明专利]一种用于高速曝光的质量平衡方法和装置有效
| 申请号： | 201811349972.6 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109521650B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 吴剑威;谭久彬;温众普;崔继文 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于高速曝光的质量平衡方法和装置；过并联的弹簧和阻尼系统进行减振，进而对高速扫描所产生的质量冲量进行平衡性消除，而弹簧和阻尼系统所产生的平衡位移可以通过检测获得，并最终反馈至驱动单元进行再次定位直至满足要求，进而提高曝光系统的运行速度和精度。本发明可建立一种高速、高频、高精度曝光的质量平衡装置。 | ||
| 搜索关键词： | 方法和装置 质量平衡 阻尼系统 弹簧 曝光 冲量 质量平衡装置 高速扫描 平衡位移 曝光系统 驱动单元 平衡性 并联 减振 反馈 检测 | ||
【主权项】：
1.一种用于高速曝光的质量平衡方法，该方法通过平行分布的可同向和相向运动的曝光模块(a)形成曝光区域(b)，曝光区域(b)的宽度变化通过曝光模块(a)的运动实现，曝光模块(a)的相对运动通过动力单元(c)驱动，动力单元(c)与曝光模块(a)的相对位移(p)通过一级编码器(d)进行测量；其特征在于：阻尼单元(f)和弹簧单元(e)并联配置在动力单元(c)和绝对基准(h)之间，消除曝光模块(a)的加速度运动引起的质量冲量(r)，冲量消除过程中动力单元(c)产生的平衡位移(q)通过二级编码器(g)进行测量，相对位移(p)与平衡位移(q)的矢量和为曝光模块(a)的实际位移(s)；以实时获取的实际位移(s)为依据，可通过动力单元(c)对曝光模块(a)进行再次驱动直至曝光区域(b)的最终定位。
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