[发明专利]一种三维镂空结构雾化喷胶方法在审
| 申请号： | 201811342252.7 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN111176074A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 车一卓;王永胜;唐琼 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 孙成林 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维镂空结构雾化喷胶方法，包括以下步骤：将承载三维镂空结构的基片进行清洗，并烘干；将基片置于倾斜承片工装上，进行第一层喷胶；对基片进行前烘，使光刻胶涂层固化；将基片换另一端置于倾斜承片工装上，进行第二层喷胶；对基片进行前烘，使光刻胶涂层固化；基片进行第三层喷胶；对基片进行前烘，使光刻胶涂层固化；将基片另一面朝上，置于水平承片工装上，进行第四层喷胶，最终形成各面均匀覆盖光刻胶层的三维镂空结构。其优点是，解决了三维镂空结构的上下表面与侧壁表面光刻胶层厚度不均匀的问题，避免了传统喷胶方法陡直侧壁上光刻胶层厚度薄、表面覆盖差的问题，能够实现对三维镂空结构的全方面保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 镂空 结构 雾化 方法 | ||
【主权项】：
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